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    氟化氫刻蝕液的配置及廢水PH測量控制

    2023-09-12 11:20:57  來源:上海清淼光電科技有限公司
    氟化氫刻蝕液的配置及廢水PH測量控制
     
     
    隨著微電子技術(shù)和太陽能技術(shù)的發(fā)展,高純氟化氫刻蝕液在半導(dǎo)體制造和太陽能晶板的生產(chǎn)過程的應(yīng)用越來越廣泛。
    然而,這種刻蝕液在使用后會產(chǎn)生大量的廢水,這也帶來了廢水處理的問題。如何有效處理這些廢水,確保環(huán)境安全,是當(dāng)前環(huán)保處理領(lǐng)域面臨的重要挑戰(zhàn)。
     
    氟化氫刻蝕液的配置選擇高純度的氟化氫和去離子水作為原料。根據(jù)刻蝕要求,調(diào)整氟化氫和去離子水的比例。使用磁力攪拌器進行均勻攪拌,確保氟化氫完全溶解。通過0.2微米的過濾器進行過濾,去除可能存在的微小雜質(zhì)。將配置好的刻蝕液存放在聚四氟乙烯或聚乙烯容器中,避免與金屬接觸。
     
    刻蝕廢水的處理
     
    1.中和反應(yīng):將廢水與堿性物質(zhì)如氫氧化鈉或氫氧化鈣混合,進行中和反應(yīng),將氟化氫轉(zhuǎn)化為氟化鈉或氟化鈣沉淀。
    2. 沉淀與分離:待沉淀物完全沉降后,使用離心機或過濾器進行分離。
    3. 進一步處理:將分離后的液體進行進一步的生物處理或物理處理,確保其不含有有害物質(zhì)。
    4. 固化處理:將沉淀物與固化劑混合,進行固化處理,然后進行安全填埋。
     
    關(guān)鍵環(huán)節(jié) pH變化范圍和測量要點
     
    1. pH變化范圍:在處理過程中,廢水的pH值會從極酸性逐漸變?yōu)橹行曰驈妷A性。通常,處理開始時pH值在1-2之間,過量加堿可達到ph值13,處理結(jié)束時應(yīng)接近7。
    2. 測量要點:
       - 使用高精度的pH計進行測量。
       - 定期校準(zhǔn)pH計,確保測量準(zhǔn)確。
       - 選用耐HF材質(zhì)的專用ph電極,考慮溶液渾濁度。
       -做寬范圍校準(zhǔn)曲線
    清淼光電氟離子儀表,采用耐氫氟酸敏感膜和凝膠,ph測量范圍0-14,耐溫100℃,工作壓力3bar,多孔液接。配合儀表可實現(xiàn)在線測量、自動控制。
    隨著硅加工領(lǐng)域的不斷進步和擴大,高純氟化氫刻蝕液的應(yīng)用將更加廣泛。刻蝕液在制程中扮演著重要角色,廢水處理也同樣重要。廢水處理技術(shù)也將得到進一步的發(fā)展,實現(xiàn)更高效、更環(huán)保的處理效果。未來,我們期望看到更多的創(chuàng)新技術(shù)和方法,為半導(dǎo)體及新能源制造和環(huán)境保護提供更好的支持,確保環(huán)境的安全和可持續(xù)性。
     
     
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